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MEMS晶圆测试

2015年07月27日 平台服务 ⁄ 阅读 2,482 次

SITRI拥有先进的晶圆级电容式MEMS自动测试设备Solidus Technologies STI3000,专用于测试MEMS器件,包括陀螺仪、加速度计、压力传感器、麦克风、振荡器等。

STI3000测试系统提供测量MEMS器件晶圆的关键动静态参数,包括共振频率、品质因数、 粘合力、 正交误差、磁滞值、 弹簧常数、 3分贝频率、 电容及漏电流,通过这些测试,可以帮助发现MEMS器件在设计和制程上的缺陷,从而提升MEMS器件的产品质量和良率,提高收益。

图片1

STI3000测试系统具有以下优点:

- 动态测量晶圆级别的MEMS

- 适用于任何晶圆处理

- 无特殊电源或尺寸需求

- 能够在封装之前对设备进行特征分析

- 能够运行传统的电容测试

- 提高测试良率

- 传感器元件设计验证

- 降低制造成本

 

 

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